20世紀70年代之前，電子工業(yè)中使用的高純氯化氫的制備方法是將濃硫酸滴加到濃鹽酸中，吸收其中的水分，從而析出過(guò)飽和氯化氫氣體。20世紀70年代至80年代初，發(fā)展了用濃硫酸與烤鹽反應生成高純度氯化氫氣體，然后用壓縮機壓縮到鋼瓶中的制備方法。
    氯氣與氫氣在合成爐中燃燒反應生成氯化氫氣體是在20世紀80年代初為適應我國電子工業(yè)的快速發(fā)展而提出的。它的技術(shù)是比較先進(jìn)的。吸附凈化，低溫低壓冷凝，消除不凝性氣體雜質(zhì)，液態(tài)裝瓶。氯氣與氫氣的合成中，氫氣過(guò)量約5%，氯化氫氣體中氫氣含量較高，采用間歇式精餾裝置脫除氫氣。另外，原料氫采用鈀膜擴散純化，生產(chǎn)規模受到一定限制。推薦閱讀相關(guān)文章：氯化氫廠(chǎng)家提示：氯化氫鋼瓶要定期檢驗